プラズマ銃

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は大面積のプラズマを容易に得 ることができると共に、集束コイルの磁力線によるプラ ズマへの悪影響を未然に防止することができる新規なプ ラズマ銃を提供するものである。 【構成】 本発明はプラズマPを発生するプラズマ源3 a,3b,3cと、該プラズマ源3a,3b,3cで発 生したプラズマを引き出すリング状の陽極4a,4b と、該リング状陽極4a,4bで引き出されたプラズマ Pを集束する集束コイル6a,6bと、上記プラズマ源 3a,3b,3cに対向して設けられた対向電極7とか らなるプラズマ銃において、上記プラズマ源3a,3 b,3cを複数並列して設けると共に、上記リング状陽 極4a,4b及び集束コイル集束コイル6a,6bを上 記プラズマ源3a,3b,3cの並列方向に楕円状に形 成することを特徴としている。
PURPOSE:To provide a new plasma gun which can produce a large area plasma easily and can prevent the plasma from being ill influenced by the lines of magnetic force from a convergence coil. CONSTITUTION:A plasma gun 1 consists of plasma sources 3a, 3b, 3c producing plasma P, ring-shaped anodes 4a, 4b to draw out the produced plasma, convergence coils 6a, 6b to converge the drawn-out plasma P, and a counter-electrode 7 installed opposingly to the plasma sources 3a, 3b, 3c. These plasma sources are located in line, and the anodes 4a, 4b and the coils 6a, 6b are arranged elliptically in the direction in which the plasma sources are arranged.

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    JP-4601076-B2December 22, 2010株式会社マイクロマテリアルズジャパンイオンクラスタービーム蒸着装置